SK머티리얼즈, 불화수소 국산화 투자.."올해 말 샘플 생산"

(서울=연합뉴스) 최재서 기자 = SK그룹 계열사 SK머티리얼즈가 일본 수출 규제 품목에 포함된 고순도 불화수소(HF·에칭가스) 개발을 본격화한다.

SK머티리얼즈 관계자는 26일 "자사가 생산하는 삼불화질소에 불화수소를 원료로 사용해왔는데, 기술적으로 국산화가 가능할 것이라고 판단했다"면서 "고순도 불화수소 설비투자를 통해 올해 말까지 샘플을 생산하는 게 목표"라고 말했다.

샘플을 생산해 검증을 완료하면 이후 본격 양산을 통해 반도체 업체에 불화수소를 납품할 계획이다.

다만 현재까지는 어느 업체에 납품할지, 샘플이 어느 정도 품질 수준을 달성할 수 있을지는 구체적으로 밝힐 순 없다는 설명이다.

SK머티리얼즈는 반도체 공정용 특수가스를 제조하는 소재 업체로 국내에서는 삼성전자, SK하이닉스 등을 주요 고객으로 두고 있다.

이들 반도체 업체가 일본에서 수입한 고순도 불화수소는 순도 99.9999999999%(9가 12개)의 제품으로 대체하기가 쉽지 않고, 국산 제품을 사용하려면 3개월가량의 테스트 기간 또한 거쳐야 하는 것으로 알려졌다.

고순도 불화수소 (PG)

acui721@yna.co.kr

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