일본서 전량 수입하던 반도체 코팅 소재 국산화 성공

핵융합연·민간기업 협력 성과.."일본산보다 품질 더 우수"

(대전=연합뉴스) 이재림 기자 = 정부출연 연구기관과 민간 기업이 협력해 전량 일본에서 수입하던 반도체 공정 코팅 소재를 국산화하는 데 성공했다.

국가핵융합연구소(핵융합연)는 미세 분말 상태에서도 뭉치지 않는 용사 코팅 소재 '이트륨 옥사이드'를 국내 기업과 함께 최초로 제조했다고 29일 밝혔다.

이트륨 옥사이드는 반도체 공정 장비에 필요한 소재다. 국내 반도체 제조사가 일본에서 모두 수입해 쓰고 있는 재료다.

용사 코팅은 분말 상태의 재료를 반도체 부품 표면에 뿌려 입히는 기술이다. 내열·내구성을 높이는 과정이다.

우리나라에서 만든 이트륨 옥사이드는 핵융합연의 플라스마 기술을 적용했다.

분말끼리 서로 밀어내는 반발력이 생겨 응집되지 않고 흐름을 좋게 만들 수 있어 치밀하고 균일한 코팅막을 형성할 수 있다고 핵융합연은 설명했다.

25㎛(1㎛는 1천분의 1㎜) 이하 크기에서 고품질의 용사 코팅을 실현할 수 있다.

제품 수준은 일본 것보다 우수하다. 입자 크기나 유동도 측면에서 일본산을 뛰어넘는다고 핵융합연은 강조했다.

기술 개발을 주도한 국가핵융합연구소 홍용철 박사는 "플라스마 기술은 반도체 공정 말고도 다양한 소재 산업에 활용할 수 있다"며 "이를 활용한 소재 기술 국산화 연구를 지속할 계획"이라고 말했다.

walden@yna.co.kr

: ☞ 日 제1야당 대표 "고노 외무상, 한국 얼굴에 진흙칠"; ☞ "왜 부부 사이 방해해" 딸 머리채 잡아 흔든 아빠; ☞ 라인 '文대통령 비하' 콘텐츠 팔다가 신고받고 삭제; ☞ 이 유명방송인 한마디에 세계 무용계 '들썩'; ☞ 광주서 담배꽁초 시비에 태국인이 러시아인 살해; ☞ 軍, 월 1회 '삼겹살데이'…식단에 전복삼계탕 늘려; ☞ "가족이라면서요"…1년에 12만마리 동물 버려진다; ☞ 검찰, 오거돈 부산시장실 압수수색…의료원장 선임 관련; ☞ 女 BJ에 '뱃살 귀여우세요' 메시지 보낸 이종현; ☞ 분노의 '18원 후원금' 최다수령 국회의원은 누구

▶연합뉴스 앱 지금 바로 다운받기~

IT