"일본산 그만"..LG DP 불화수소 국산화

日 수출규제 석달 만에 100% 대체 / OLED·LCD 생산라인에 투입

LG디스플레이가 국내 디스플레이·패널 공장에서 사용하는 불화수소를 100% 국산화했다. 일본이 한국을 대상으로 반도체·디스플레이 핵심 소재 수출을 규제한 지 103일 만이다.

14일 업계에 따르면 LG디스플레이는 이날을 기점으로 식각·세정공정에 사용되는 모든 불화수소를 국산으로 대체했다. 국내 유기발광다이오드(OLED) 패널과 액정표시장치(LCD) 패널 생산라인에서 사용되던 일본산 액체 불화수소(불산액)를 모두 국산 제품으로 대체한 것이다. 지난달 초 국산 불화수소를 처음 생산라인에 투입한 이후 한 달여 만이다.

불화수소는 디스플레이와 반도체 제조공정에서 패널이나 회로를 원하는 모양으로 식각하거나 표면을 세정하는 데 주로 사용된다. 식각은 기체 형태의 불화수소와 액체 형태의 불화수소를 사용하는 것에 따라 건식과 습식으로 나뉜다.

삼성디스플레이의 경우에는 최근 국산 불화수소의 품질과 공정 적용 테스트를 완료했으며, 재고가 소진되는 동시에 생산라인에 투입할 것으로 알려졌다. 다만 디스플레이 업계에서 사용되는 불화수소는 액체로, 반도체 공정에서 주로 쓰는 기체 불화수소(에칭가스)는 순도가 더 높아 여전히 일본 업체에 의존해야 하는 상황이다.

김선영 기자 007@segye.com