日규제 완화에도 韓업계 국산화 갈길 간다

日 "EUV용 감광액 韓 수출 특정포괄허가 변경"

삼성전자 클린룸 반도체 생산현장 /사진제공=삼성전자

일본의 EUV(극자외선)용 포토레지스트(감광액) 수출 규제 완화 조치에 대해 국내 반도체 업계는 일단 안도하면서도 국산화(공급선 다변화) 추진 방침에는 변화가 없다는 입장이다.

22일 통상당국과 관련 업계에 따르면 일본 경제산업성은 지난 20일 한국에 수출되는 반도체 소재인 EUV용 포토레지스트의 수출심사와 승인 방식을 '개별허가'에서 '특정포괄허가'로 변경하는 포괄허가취급요령 일부 개정령을 공시했다.

개정령은 이날 즉시 시행됐으며 포토레지스트 수출허가 실적이 연간 6건에 달한 일본 기업이 한국 기업에 계속 수출할 경우 최장 3년간은 매번 허가를 받을 필요가 없게 된다. 반도체 초미세 공정에 반드시 필요한 소재인 포토레지스트는 JSR이나 도쿄오카공업 등 일본 업체가 전체 시장의 약 90％를 점유하는 등 사실상 독점하고 있다.

삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 업계는 당분간 일본산 고품질 포토레지스트를 수입할 수 있게 됐다. 그럼에도 "불확실성은 여전하다"며 "소재 국산화를 비롯해 공급선 다변화는 계속 시도할 수밖에 없다"는데엔 이견이 없는 분위기다.

앞서 일본 경산성은 8월 말 한국에 대한 경제보복 발표 이후 49일 만에 처음으로 포토레지스트 수출허가를 승인한 바 있다. 지난달 중순에는 고순도 불화수소 수출도 허가하는 등 간헐적으로 수출 허가를 내주고 있다.

이 때문에 국내 반도체·디스플레이 업계는 대만, 유럽 등 세계 각지에 구매팀을 파견해 초고순도 불화수소와 플루오린 폴리이미드, 포토레지스트를 확보에 총력전을 펼쳐왔다. LG디스플레이는 국내 대기업 중 처음으로 OLED(유기발광다이오드) 패널 등의 생산공정에 국산 고순도 불화수소를 투입하는 일정 성과도 거뒀다.

한 반도체 업계 관계자는 "한국에 대한 경제보복 중 아주 일부가 규정에 의해 풀린 것이기 때문에 앞으로 어떻게 될지 모른다"며 "다행이긴 하지만 국산화와 공급선 다변화라는 기조엔 별다른 변화가 없을 것"이라고 말했다.

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이정혁 기자 utopia@mt.co.kr

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