美 듀폰, 'EUV용 포토레지스트' 한국공장 짓는다..'소부장 脫일본' 본격화

성윤모 산업통상자원부 장관은 8일(현지시간) 오후 19:30 미국 샌프란시스코 포시즌스호텔에서 존 켐프 듀폰 전자·이미징 사업부 사장과 면담을 갖고, EUV 포토레지스트 및 CMP 패드 한국 투자를 확정했다. 사진은 왼쪽부터 장상현 코트라 인베스트 코리아 대표, 성윤모 산업부 장관, 존 켐프 듀폰 사장.

미국 화학소재 기업 듀폰이 내년까지 2800만달러(약 325억)를 투자, 우리나라에 극자외선(EUV)용 포토레지스트 개발 및 생산공장을 짓는다. EUV용 포토레지스트는 지난해 7월 일본이 우리나라를 상대로 발표한 수출규제 품목으로, 전체 물량 90% 이상을 일본 수입에 의존해 온 품목이다. 우리나라가 반도체 핵심 소재 분야에서 새 공급처를 마련하고 '탈(脫)일본'을 가속화하는 발판을 마련했다는 평가다.

산업통상자원부는 듀폰이 우리나라에 'EUV용 포토레지스트 개발·생산시설'을 구축하기로 확정하고, 코트라에 투자신고서를 제출했다고 밝혔다.

성윤모 산업부 장관은 8일(현지시간) 미국 실리콘밸리에서 존 켐프 듀폰 사장과 개별면담을 갖고, 2800만달러 규모 EUV용 포토레지스트 투자 협상을 매듭졌다. 이에 따라 듀폰은 내년까지 투자를 완료하고, 충남 천안에 EUV용 포토레지스트 및 CMP패드 개발·생산 시설을 구축할 계획이다.

아울러 산업부는 EUV용 포토레지스트 개발·생산에 필요한 원재료를 국내에서 조달하는 내용으로 추가 협상을 진행 중인 것으로 파악됐다. 듀폰이 국내에서 개발·생산하는 소재 품목은 추가될 가능성도 큰 상황으로, 최종 투자 규모는 2800만달러 이상으로 늘어날 전망이다.

EUV 노광장비. [사진=전자신문 DB]

EUV용 포토레지스트는 웨이퍼(기판) 위에 패턴을 형성하는 노광공정에서 사용되는 감광성 재료로, 파장이 짧을수록 미세화 공정에 적용 가능하다. 삼성전자·SK하이닉스 등 국내 반도체 기업은 JSR·신에츠화학·도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업으로부터 전체 물량 90%가량을 수입했다. 그러나 지난해 7월 일본 정부가 불화수소·불화 폴리이미드와 함께 수출규제 대상에 포함시키면서 소재 공급처 다변화 및 국산화 필요성이 대두됐다.

지난달 일본이 포토레지스트 수출심사 방식을 개별심사에서 특정포괄허가로 변경하는 등 규제를 완화했지만, 궁극적으로 우리나라가 일본 수입에 의존하지 않고 공급처 다변화에 성공했다는데 의미가 크다. 이번 투자는 EUV용 포토레지스트 세계 시장 성장에 발맞춰 적극 대응하려는 듀폰과, 일본 수출규제 이후 소재·부품·장비(소부장) 공급처 다변화가 필요했던 우리 정부 이해관계가 맞아떨어진 결과다.

산업부는 외투 기업 인센티브 지원책을 마련한 후 듀폰에 한국 투자를 먼저 제안, 반도체 제조사가 있는 동아시아 국가 공장 설립을 타진하던 것을 뒤집고 투자유치를 확정한 것으로 전해졌다. 정부가 제안한 인센티브에는 투자 부지의 외국인투자지역 지정 및 임대료 감면 등이 포함됐다.

김정화 산업부 투자정책과장은 “일본 수출규제 이후 반도체 소부장 공급에 대한 외투기업 계획 동향을 살피던 중 듀폰과 접촉하게 됐고, 지자체·코트라와 태스크포스(TF)를 구성해 투자협상을 적극 진행한 결과 경쟁국을 제치고 한국이 최종 투자처로 선정된 것”이라고 말했다.

듀폰 천안 1공장(반도체·디스플레이) 전경. (사진=듀폰 제공)

산업부는 듀폰 투자유치가 미국·유럽연합(EU) 등 공급선을 다변화하는 데 긍정 영향을 줄 것으로 기대했다. 국내 기업과 상생협력을 도모하고 소부장 산업경쟁력 강화에 기여할 것으로도 내다봤다. 또 외국 기업이 투자계획서를 제출할 때까지 기다리는 관행을 지양하고, 선제적으로 한국 투자를 제안하는 등 협상 패러다임을 전환하겠다는 입장을 분명히 했다.

켐프 사장은 투자신고서를 제출하는 자리에서 “EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획”이라고 밝혔다.

성 장관은 “최근 일본 정부의 EUV용 포토레지스트에 대한 특정포괄허가 허용 등 일본 수출규제 조치 해결에 일부 진전이 있었지만, 근본 해결방안으로 보긴 어려웠다”면서 “정부는 핵심 소부장에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것”이라고 강조했다.

최재필기자 jpchoi@etnews.com