SKC, 日의존 반도체 핵심소재 블랭크 마스크 하반기 양산한다

정승일 산업부 차관 "지원 아끼지 않을 것"

SKC 직원이 반도체 노광공정 핵심소재인 블랭크 마스크의 시제품을 검사하고 있다. SKC 제공

[이데일리 김형욱 기자] SKC(011790)가 일본에 의존해 온 반도체 핵심소재인 하이엔드급 블랭크 마스크(Blank Mask)를 하반기부터 본격 양산한다.

산업통상자원부는 20일 정승일 산업부 차관의 충남 천안 SKC 블랭크마스크 공장 방문을 계기로 이 같은 SKC의 하이엔드급 블랭크 마스크 양산 계획을 공개했다. SKC는 지난달 26일 시제품 생산 사실을 알리고 연내 상업화한다는 목표를 발표했으나 이를 확정적으로 발표한 건 이날이 처음이다.

정부와 국내 소재·부품·장비업계는 일본 정부가 지난해 7월 불화수소를 비롯해 반도체 제조에 필요한 핵심 소재 3종에 대한 대 한국 수출 규제를 강화한 걸 계기로 일본 의존도가 큰 소재·부품·장비 자체 개발에 나섰다.

블랭크 마스크도 반도체 웨이퍼에 전자회로 패턴을 새길 때 쓰는 반도체 제조 핵심 소재다. 특히 불화아르곤(ArF) 같은 하이엔드급 제품은 90% 이상 일본 업체에 의존하고 있다.

종합 소재기업인 SKC 역시 2018년부터 430억원을 투자해 지난해 12월 완공한 천안 블랭크 마스크 공장에서 지난해 말부터 시제품을 생산해 수요 기업과의 테스트를 시작했다. 산업부는 SKC가 지난해 정부 추가경정예산(추경) 지원 아래 내년 양산을 목표로 한 단계 높은 첨단 신제품 개발도 추진하고 있다고 전했다.

정승일 차관은 이날 시제품 생산 현장을 찾아 이용선 부사장을 비롯한 SKC 임직원의 성과에 감사를 전하고 정부의 소재·부품·장비 자립화 정책 방향을 소개했다.

정부는 불화수소와 EUV레지스트, 불화폴리이미드 등 일본 수출규제 3개 품목에 대해선 연내 완전한 공급 안정화를 달성하고 이를 포함한 20개 주요 품목에 대해서도 내년까지는 국내생산 확대와 기술개발, 수입국 다변화를 통해 공급 안정성을 확보한다는 계획이다. 산업부는 100개 소재·부품·장비의 상용화를 위해 올해만 2100억원 이상을 지원할 계획이다.

정부는 SKC의 블랭크 마스크 양산 계획을 모범사례로 삼아 국산 소재·부품·장비의 빠른 상용화를 위해 환경부의 화학물질 취급 규정을 비롯한 각종 환경 인·허가를 신속 처리해준다는 계획이다. 관련 기술을 보유한 중소기업과 이를 필요로 하는 수요 대기업을 이어주는 역할도 확대할 계획이다.

정 차관은 “소재·부품·장비 기술력 강화와 건강한 산업생태계 구축을 위해선 정부와 수요-공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다”며 “정부는 조기 성과 창출을 위해 관련 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.

(왼쪽부터)정승일 산업통상자원부 차관과 이용선 SKC 부사장이 20일 충남 천안 SKC 블랭크마스크 공장에서 전시된 제품을 살펴보고 있다. 산업부 제공

김형욱 (nero@edaily.co.kr)