넥스틴, 반도체 전공정 장비 납품.."검사장비 국산화 나선다"

생산성 10% 높고 가격은 3분의 1 수준
美 KLA·日 히타치 등 선도기업과 경쟁
신제품 R&D 병행..연매출 1000억 도전

넥스틴이 반도체 전공정에 활용되는 검사장비를 글로벌 반도체 기업에 공급해 주목된다. 미국 KLA과 일본 히타치가 주도하고 있는 반도체 검사장비 분야에서 보폭을 확대하고 있다.

16일 업계에 따르면 최근 넥스틴은 반도체 전공정 검사장비 '이지스-Ⅱ(AEGIS-Ⅱ)를 국내 반도체 대기업 양산 라인에 적용했다.

반도체 공정 중 생기는 결함을 검사하는 장비는 일반적으로 다크 필드와 브라이트 필드 영역으로 나누는데, 넥스틴은 다크 필드 영역 장비를 주력으로 만든다.

넥스틴의 이지스 장비. <사진=넥스틴 홈페이지>

다크필드 검사 장비는 산란광을 활용해 동그란 웨이퍼 위의 결함을 찾아낸다. 공정을 끝낸 웨이퍼 위에 355나노미터(㎚) 파장의 엔디야그(Nd:YAG) 광원을 비스듬히 비춰 불필요한 입자나 패턴 결함을 찾아내는 방식이다.

넥스틴이 납품한 검사 장비는 생산성(스루풋)을 크게 개선한 것이 특징이다. 전작인 '이지스 DP'보다 생산성을 10% 끌어올리면서 이 분야에서 독보적인 점유율을 차지한 미국 KLA 다크필드 장비와 비슷한 생산성을 확보했다.

반면에 장비 가격은 KLA 대비 3분의 1 수준에 판매하고 있어, 효율성 측면에서 크게 앞선다는 평가다.

넥스틴의 활약은 반도체 장비 국산화에 기여할 전망이다. 국내 칩 제조사는 KLA 검사 장비 외에도 일본 히타치가 만든 기기도 일부 활용하고 있다. 업계에서는 이미 넥스틴 기술이 히타치 장비의 생산성을 능가했다는 평가가 나온다. 이에 따라 시장에서는 국내 칩 제조사들이 양산 라인에 있는 히타치 장비를 넥스틴의 설비로 전면 대체할 것이라는 기대가 커지고 있다.

올해 넥스틴은 국내 업체 공급 외에도 중국 반도체 업체와 활발하게 거래하며 매출을 크게 올렸다. 지난해까지 적자를 기록했지만 올해는 3분기까지 영업이익 124억원을 달성했다. 회사는 올해 매출 500억원 매출, 내년에는 2배 증가한 1000억원 매출을 목표로 삼았다.

아울러 넥스틴은 적극적인 이지스-Ⅱ 판매와 동시에 신제품 연구개발(R&D)도 병행할 계획이다. 넥스틴은 광학계 관련 우수한 기술을 지닌 이스라엘에 일찌감치 R&D 거점을 마련했다. 유력 반도체 장비 업체들이 보유하고 있는 특허를 피해 새로운 기술로 승부를 보겠다는 포부다. 또 지금까지 다크 필드 검사 장비를 주력으로 생산했지만, 반사광 기반의 브라이트 필드 검사 장비를 구현해 고부가가치 장비 제품군을 확보한다는 전략이다.

브라이트 필드 장비는 다크 필드 분야보다 장비에 필요한 광원의 파장이 짧은 점 등 보다 고난도 기술을 필요로 한다. 현재 이 영역은 KLA와 미국 어플라이드 머티어리얼즈가 주도하고 있다.

박태훈 넥스틴 CEO는 “2~3년 내에 브라이트필드 검사장비 개발 완료와 양산을 목표하고 있다”며 “현재 사용되고 있는 광원이 아닌 새로운 방식의 레이저를 이용할 것”이라고 밝혔다. 그는 또 “아직 넥스틴은 세계 검사 장비 분야에서 점유율이 낮지만 효율성을 개선한 장비로 공급량을 늘려 나갈 것”이라고 강조했다.

강해령기자 kang@etnews.com