[단독] 삼성전자, 반도체 장비도 초격차..EUV 선점에 '4조+α' 투자

[앵커]

총수 부재와 검찰 고발 등 잇딴 악재 속에서도 삼성전자가 미래를 위한 대규모 첨단장비 투자에 나섰습니다.

삼성전자는 4조 원 이상을 투자해 대규모 차세대 첨단 반도체 장비 확보를 추진 중인 것으로 확인됐습니다.

강산 기자의 단독보도입니다.

[기자]

네덜란드 ASML은 전세계에서 유일하게 반도체 초미세공정에 활용하는 극자외선, EUV 노광장비를 생산하는 기업입니다.

1대에 2천억 원이 넘는 EUV 장비는 한해 생산량이 40대 정도에 불과해 반도체 업체들의 확보 경쟁이 치열합니다.

삼성전자가 이 장비의 대규모 확보를 추진 중인 것으로 확인됐습니다.

업계 관계자는 "삼성전자가 내후년까지 4조 원 이상을 투자해 평택 공장에 ASML의 EUV 장비 20여 대를 배치하는 방안을 추진 중"이라고 밝혔습니다.

[이종환 / 상명대 시스템반도체공학과 교수 : 초미세공정에서 선두로 나가겠단 강력한 의지인 거죠. 미세패턴과 5나노급의 반도체소자를 제작할 수 있는 노광장비이기 때문에 가장 핵심적인 장비거든요.]

지난해 10월 이재용 삼성전자 부회장은 직접 네덜란드 ASML 본사를 찾아 첨단장비 우선공급을 부탁한 바 있습니다.

현재 삼성이 갖고 있는 EUV 장비는 17대, TSMC는 40여 대로 추정됩니다.

[이종호 / 서울대 반도체공동연구소장 : (초미세공정은) 아무래도 TSMC가 앞서는 업체입니다. (신규)공장이 있는 평택에서 양산 규모를 늘리겠다는 의도로 보입니다. (TSMC와) 간격을 좁히는 기회가 되지 않을까 싶습니다.]

ASML은 이르면 내년부터 EUV장비 최신 버전을 연간 10대씩 생산할 예정입니다.

1대에 5,000억 원에 달하는 고가장비입니다.

삼성은 물량 상당분을 미리 확보하기 위해 선계약을 맺은 것으로 전해졌습니다.

삼성전자는 "투자, 계약 내용은 대외적으로 공개할 수 없고, 시장 상황에 따라 변동될 수 있다"고 밝혔습니다.

SBS Biz 강산입니다.

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